[发明专利]可聚合的单体有效
| 申请号： | 201110293953.8 | 申请日： | 2011-07-28 |
| 公开（公告）号： | CN102516181A | 公开（公告）日： | 2012-06-27 |
| 发明（设计）人： | 土门大将;渡边聪 | 申请（专利权）人： | 信越化学工业株式会社 |
| 主分类号： | C07D239/10 | 分类号： | C07D239/10;C08F212/14;C08F220/36;G03F7/038 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 任宗华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： |
提供了一种式(1)的单体，其中R1是氢或者单价的C1-C6烃基，并且R2是具有聚合官能性的基团。使用该单体，能够将交联单元引入到聚合物链中。包括具有在其中引入交联单元的基础聚合物的化学放大负性抗蚀剂组合物具有高敏感性并且形成具有最小化的LER的抗蚀图案。 |
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| 搜索关键词： | 聚合 单体 | ||
【主权项】：
1.一种具有通式(1)的单体：![]()
其中，R1是氢或者单价的、直链、支链或者环状的具有1-6个碳原子的烃基，并且R2是具有聚合官能性的单价基团。
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