[发明专利]等离子体蚀刻用的电极板和等离子体蚀刻处理装置有效
| 申请号： | 201110296183.2 | 申请日： | 2011-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN102420089A | 公开（公告）日： | 2012-04-18 |
| 发明（设计）人： | 佐藤直行;长山将之;长久保启一 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/3065 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;张会华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种等离子体蚀刻用的电极板和等离子体蚀刻处理装置。该等离子体蚀刻用的电极板能够将贯通电极板的多种类型的气孔的配置最优化。等离子体蚀刻用的电极板(160)呈具有规定的厚度的圆板状，在同心圆状的多个不同的圆周上形成有将电极板(160)的一个面铅垂地贯通的多个气孔，在沿着径向将电极板(160)分割成两个以上的区域中的各区域形成有不同类型的气孔。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 蚀刻 极板 处理 装置 | ||
【主权项】：
一种等离子体蚀刻用的电极板，其是具有规定的厚度的圆板状的等离子体蚀刻用的电极板，其特征在于，在同心圆状的多个不同的圆周上形成将上述电极板的一个面铅垂地贯通的多个气孔；在沿着径向将上述电极板分割成两个以上的区域中的各区域形成不同类型的气孔，上述不同类型的气孔包括弯曲类型的气孔。
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