[发明专利]多晶硅制造装置无效
| 申请号： | 201110297677.2 | 申请日： | 2011-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN102745690A | 公开（公告）日： | 2012-10-24 |
| 发明（设计）人： | 丁允燮;金根镐;尹汝均;金镇成 | 申请（专利权）人： | 硅科创富有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/02 | 分类号： | C01B33/02 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人： | 姜虎;陈英俊 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明提供一种多晶硅制造装置，其包括：反应管，在其内部发生硅析出反应；流动气体供应部，向上述反应管内的硅颗粒供应流动气体；以及在上述反应管内部发生硅析出反应时使反应温度保持恒定的机构。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶 制造 装置 | ||
【主权项】：
一种多晶硅制造装置，其特征在于，包括：反应管，在其内部发生硅析出反应；流动气体供应部，向上述反应管内的硅颗粒供应流动气体；以及在上述反应管内部发生硅析出反应时使反应温度保持恒定的机构。
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