[发明专利]设计加热平板作升降动作以进行硅薄膜镀膜

摘要

本发明主要目的是设计加热平板作升降动作以进行硅薄膜镀膜。本发明加热平板的加热方式是用microheater进行加热，可让加热平板本身为均匀加热，加热平板下有一组线性马达轴承架设于腔体下，利用Port与马达之间紧密结合而成，当加热平板欲作升降时，可以由电脑界面将马达开启并作升降。其方式是当TCO玻璃与金属平板一起放入Carrier内，并传送到PECVD腔体后，其加热平板利用马达控制轴承作升降，玻璃接触加热平板，可让玻璃均匀升温，随后要制程时，加热平板可作上升动作，使玻璃与电极产生适当的间距作制程，当完成制程后，加热平板作下降动作，并让Carrier可以传出，此发明兼顾玻璃加热均匀不易翘曲与适当间距制程，可得均匀的硅薄膜，提高太阳能硅薄膜发电效率。

主权项

一种设计加热平板作升降动作以进行硅薄膜镀膜，其PECVD腔体内部设有传动轮轴及真空Pump，且也有Showerhead气流孔及RF电极，此外也有最重要的是本发明加热平板，其加热平板的加热方式是用micro heater进行加热，故可以让加热平板本身为均匀加热，此外这个加热平板下有一组线性马达轴承，这个马达是架设于腔体下，利用其Port与马达之间紧密结合而成，当加热平板欲作升降时，可以由电脑界面将马达开启并作升降，其方式主要是当TCO玻璃与金属平板一起放入Carrier内，并传送到PECVD腔体后，其加热平板利用马达控制轴承作升降，由于玻璃与金属平板一起接触到加热平板，此时加热的方式有传导热及辐射热两种，可以让玻璃均匀升温，且不易有玻璃翘曲的可能，随后当要开始制程时，其加热平板可以再作上升动作，使其玻璃与电极产生一适当的间距，此间距可依制程需要来做改变，而当RF power supply开启的时后，这个间距就可以得到均匀电浆，并可进行制程，当完成制程后，其加热平板则是透过线性马达轴承作下降动作，并让Carrier可以顺利传出，此发明兼顾着玻璃加热均匀不易翘曲外，也有让玻璃与电极产生适当的间距，以便进行电浆制程，故可以达到均匀的硅薄膜，并提高整体太阳能硅薄膜发电效率。