[发明专利]用于单轴精密加速度计的差分微电容及其制备方法有效
| 申请号： | 201110298158.8 | 申请日： | 2011-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN102435773A | 公开（公告）日： | 2012-05-02 |
| 发明（设计）人： | 汪红;何明轩;刘瑞鸿;冯建智;陈欣;丁桂甫;赵小林 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125 |
| 代理公司： | 上海汉声知识产权代理有限公司 31236 | 代理人： | 郭国中 |
| 地址： | 200240 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种用于单轴精密加速度计的差分微电容及其制备方法，所述微电容包括上电极、可动电极、下电极，上电极和可动电极通过柱子与下电极保持悬空，上下电极均采用等位环保护，可动电极通过柱子悬空且采用弹簧作为柔性支撑，上下电极和可动电极均采用圆形电极，每个电极均有信号引出接入到信号电路中，可动电极和上下电极分别组成两个差分电容。差分微电容采用标准的MEMS工艺中的光刻、溅射、电镀、腐蚀等技术来实现的。上电极和可动电极的悬空采用牺牲层技术来实现的。本发明中，三个电极构成差分电容，工作时，一个电容值增大，另一个电容值等值减小，通过信号处理，输出值直接反映了检测量的大小，达到检测加速度的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 精密 加速度计 差分微 电容 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种用于单轴精密加速度计的差分微电容，包括上电极、可动电极、下电极，上电极和可动电极通过柱子与下电极保持悬空，其特征在于：上下电极均采用等位环保护，可动电极通过柱子悬空且采用弹簧作为柔性支撑，上下电极和可动电极均采用圆形电极，每个电极均有信号引出接入到信号电路中，可动电极和上下电极分别组成两个差分电容，检测的时候一个电容值增大，另一个电容值减小，且增加量等于减小量。
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