[发明专利]磁浮重力补偿器及光刻装置有效
| 申请号： | 201110299070.8 | 申请日： | 2011-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN103034065A | 公开（公告）日： | 2013-04-10 |
| 发明（设计）人： | 夏海;陈庆生;徐涛 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H02N15/00 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人： | 王光辉 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开一种磁浮重力补偿器，包括定子和动子，该动子通过磁力悬浮于该定子之上，该定子包括第一磁环、线圈环及第四磁环，该动子包括第二磁环及第三磁环，所述第一磁环、第二磁环、线圈环、第三磁环、第四磁环依次由内向外同心设置。本发明还公开一种使用该磁浮重力补偿器的光刻装置。 | ||
| 搜索关键词： | 重力 补偿 光刻 装置 | ||
【主权项】：
一种磁浮重力补偿器，包括定子和动子，其特征在于，所述动子通过磁力悬浮于所述定子之上，所述定子包括第一磁环、线圈环及第四磁环，所述动子包括第二磁环及第三磁环，所述第一磁环、第二磁环、线圈环、第三磁环、第四磁环依次由内向外同心设置。
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