[发明专利]一种水冷等离子体射流保护罩

摘要

本发明公开了一种水冷等离子体射流保护罩，包括绝缘塑料环、前端挡板、保护罩内筒、保护罩外筒等。前端挡板射流入口中心通孔与等离子发生器出口配合端面之间，用绝缘塑料环作电气隔离；保护罩外筒与前端挡板通过法兰外围的固定连接，法兰之间压紧橡胶垫圈以保证外筒和前端挡板之间的密封性；保护罩内外筒间也使用同样的密封方法；内筒外壁采用轴向均布开槽的方式，使得冷却水流速加快、流体分布均匀，冷却效果更好。冷却水从前端挡板进水口流入，经过入口处集液腔后沿着保护罩内筒外壁对保护罩进行冷却，经过集液腔由保护罩外筒上的出水口流出。本发明屏蔽等离子体射流对空气引射，使空气不能进入基板加工区域，达到很好的冷却效果。

主权项

一种水冷等离子体射流保护罩，其特征在于，包括绝缘塑料环、前端挡板、密封橡胶垫圈A、密封橡胶垫圈B、保护罩外筒、密封橡胶垫圈C和保护罩内筒；所述的绝缘塑料环具有凸台，设有中心通孔A和中心通孔B，绝缘塑料环套在等离子体发生器上，射流从中心通孔B喷出进入保护罩内最后冲击到基板上；所述的前端外挡板为边缘带有法兰盘的圆盘形结构，圆盘一端设有凸台B，凸台B上套有密封橡胶垫圈B，通过保护罩内筒挤压密封；凸台B具有中心通孔C，绝缘塑料环嵌进中心通孔C中；前端外挡板边缘设有通孔A，用于与保护罩外筒的通孔B固定连接；边缘与中心通孔C之间设有一个冷却水入口，用于注入冷却水；在前端外挡板边缘内侧还具有一环形小凸台A，与保护罩外筒的凹槽A配合挤压密封橡胶垫圈A；所述的保护罩外筒为两端边缘都带有法兰盘的圆筒形结构，两端分别设有通孔B和通孔C，还分别设有凹槽A和凹槽B，凹槽A、凹槽B分别和前端挡板的小凸台A、保护罩内筒的小凸台B配合；在圆筒的一端还具有集液腔和出水口，冷却水流经保护罩外筒的内壁流进集液腔，最后从出水口流出；所述的保护罩内筒为一端边缘带有法兰盘的圆筒形结构，设有中心通孔D，带有法兰盘结构的一端，设有通孔D，与保护罩外筒的通孔C固定连接；带有法兰盘结构的一端还设有小凸台B，小凸台B和凹槽B配合，挤压密封橡胶垫圈C；保护罩内筒外壁轴向设有凹槽C，冷却介质沿轴向流经内筒外壁的凹槽C，到环形槽处，进入集液腔，汇合经出水口流出。