[发明专利]一种水冷等离子体射流保护罩无效
申请号: | 201110300519.8 | 申请日: | 2011-09-29 |
公开(公告)号: | CN102361530A | 公开(公告)日: | 2012-02-22 |
发明(设计)人: | 王海兴;魏福智;陈轩 | 申请(专利权)人: | 北京航空航天大学 |
主分类号: | H05H1/26 | 分类号: | H05H1/26 |
代理公司: | 北京永创新实专利事务所 11121 | 代理人: | 赵文利 |
地址: | 100191*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明公开了一种水冷等离子体射流保护罩,包括绝缘塑料环、前端挡板、保护罩内筒、保护罩外筒等。前端挡板射流入口中心通孔与等离子发生器出口配合端面之间,用绝缘塑料环作电气隔离;保护罩外筒与前端挡板通过法兰外围的固定连接,法兰之间压紧橡胶垫圈以保证外筒和前端挡板之间的密封性;保护罩内外筒间也使用同样的密封方法;内筒外壁采用轴向均布开槽的方式,使得冷却水流速加快、流体分布均匀,冷却效果更好。冷却水从前端挡板进水口流入,经过入口处集液腔后沿着保护罩内筒外壁对保护罩进行冷却,经过集液腔由保护罩外筒上的出水口流出。本发明屏蔽等离子体射流对空气引射,使空气不能进入基板加工区域,达到很好的冷却效果。 | ||
搜索关键词: | 一种 水冷 等离子体 射流 护罩 | ||
【主权项】:
一种水冷等离子体射流保护罩,其特征在于,包括绝缘塑料环、前端挡板、密封橡胶垫圈A、密封橡胶垫圈B、保护罩外筒、密封橡胶垫圈C和保护罩内筒;所述的绝缘塑料环具有凸台,设有中心通孔A和中心通孔B,绝缘塑料环套在等离子体发生器上,射流从中心通孔B喷出进入保护罩内最后冲击到基板上;所述的前端外挡板为边缘带有法兰盘的圆盘形结构,圆盘一端设有凸台B,凸台B上套有密封橡胶垫圈B,通过保护罩内筒挤压密封;凸台B具有中心通孔C,绝缘塑料环嵌进中心通孔C中;前端外挡板边缘设有通孔A,用于与保护罩外筒的通孔B固定连接;边缘与中心通孔C之间设有一个冷却水入口,用于注入冷却水;在前端外挡板边缘内侧还具有一环形小凸台A,与保护罩外筒的凹槽A配合挤压密封橡胶垫圈A;所述的保护罩外筒为两端边缘都带有法兰盘的圆筒形结构,两端分别设有通孔B和通孔C,还分别设有凹槽A和凹槽B,凹槽A、凹槽B分别和前端挡板的小凸台A、保护罩内筒的小凸台B配合;在圆筒的一端还具有集液腔和出水口,冷却水流经保护罩外筒的内壁流进集液腔,最后从出水口流出;所述的保护罩内筒为一端边缘带有法兰盘的圆筒形结构,设有中心通孔D,带有法兰盘结构的一端,设有通孔D,与保护罩外筒的通孔C固定连接;带有法兰盘结构的一端还设有小凸台B,小凸台B和凹槽B配合,挤压密封橡胶垫圈C;保护罩内筒外壁轴向设有凹槽C,冷却介质沿轴向流经内筒外壁的凹槽C,到环形槽处,进入集液腔,汇合经出水口流出。
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