[发明专利]巨应力阻抗效应加速度计无效
| 申请号： | 201110300812.4 | 申请日： | 2011-10-09 |
| 公开（公告）号： | CN103033646A | 公开（公告）日： | 2013-04-10 |
| 发明（设计）人： | 周志敏 | 申请（专利权）人： | 周志敏;刘明;胡晓东 |
| 主分类号： | G01P15/09 | 分类号： | G01P15/09;G01P15/12 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201807 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种属于传感器技术领域的巨应力阻抗效应加速度计，本发明由硅基片上1的悬臂梁2，巨应力阻抗效应力敏传感器3，质量块4组成，巨应力阻抗效应力敏传感器3为具有高磁致伸缩系数的Fe基非晶合金薄带，其各向异性场为沿薄带宽度方向，形状为曲折多匝结构，质量块为Cu材料。工作时，质量块用于感受加速度并产生对恳臂梁端部的作用，使得悬臂梁发生受力变形，产生一定的挠度，巨应力阻抗效应力敏传感器将这种受力转变成阻抗变化的信号，并通过两端电压信号反映出来，从而测量出整个系统的加速度参数，整个结构为通过微机电系统MEMS技术制备，具有体积小，制作工艺简单，灵敏度高，可以批量生产，反映速度快等的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 应力 阻抗 效应 加速度计 | ||
【主权项】：
巨应力阻抗效应加速度计，其特征在于，由Si基片上1上的悬臂梁2，巨应力阻抗效应力敏传感器3，质量块4以及绝缘层5组成，当质量块4受到加速度作用时，悬臂梁2产生弯曲变形，巨应力阻抗效应力敏传感器3将所受的力转变成阻抗变化的信号输出，从而实现对加速度的测量；
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