[发明专利]去除光掩模板表面微尘和沾污的装置及其方法

摘要

本发明涉及一种去除光掩模板表面微尘和沾污的装置及其方法，该种装置包括下端开口的腔体、容置在腔体内的平台以及平行于所述平台且位于平台上方的可移动的喷淋装置，所述腔体上设有进气管和出气口，所述进气管一端连接至气溶剂发生装置，另一端连接至喷淋装置。本发明采用气溶剂作为清洗源以及可移动的喷淋装置，有效地提高了去除光掩模板表面微尘和沾污的效率，减少了产生雾状缺陷的概率，延长了光掩模板的使用寿命。

主权项

一种去除光掩模板表面微尘和沾污的装置，其特征在于：所述装置包括下端开口的腔体、容置在腔体内的平台以及平行于所述平台且位于平台上方的可移动的喷淋装置，所述腔体上设有进气管和出气口，所述进气管一端连接至所述喷淋装置，另一端用于连接至一气溶剂发生装置。