[发明专利]固体摄像器件、固体摄像器件的制造方法和电子装置

摘要

本发明公开了固体摄像器件、固体摄像器件的制造方法和电子装置。该固体摄像器件包括：基板，其具有根据受光量产生信号电荷的光电转换单元；通孔，其形成得从所述基板的前表面侧贯穿所述基板的背面侧；垂直栅极电极，其形成在所述通孔中，所述垂直栅极电极与所述通孔之间形成有栅极绝缘膜，所述垂直栅极电极使读出部读出由所述光电转换单元产生的信号电荷；及电荷固定膜，其具有负的固定电荷，所述电荷固定膜被形成得在覆盖所述基板的背面侧的同时覆盖所述通孔的内周面的位于所述基板的背面侧的一部分。本发明能够抑制产生于所述基板界面处的暗电流，并减小了工艺的非均匀性，从而能够防止产生白点。

主权项

一种固体摄像器件，其包括：基板，所述基板具有根据受光量产生信号电荷的光电转换单元；通孔，所述通孔形成得从所述基板的前表面侧贯穿所述基板的背面侧；垂直栅极电极，所述垂直栅极电极形成在所述通孔中，所述垂直栅极电极与所述通孔之间形成有栅极绝缘膜，所述垂直栅极电极使读出部读出由所述光电转换单元产生的信号电荷；以及电荷固定膜，所述电荷固定膜具有负的固定电荷，所述电荷固定膜被形成得在覆盖所述基板的背面侧的同时覆盖所述通孔的内周面的位于所述基板的背面侧的一部分。