[发明专利]一种高效率制备硅芯的方法和硅芯制备炉

摘要

本发明涉及硅芯制备领域的制备工艺，特别是一种高效率制备硅芯的方法其步骤如下：将多晶硅装在石英坩埚内加热溶化，再对溶化后的硅溶区进行降温；将带有多根籽晶往下降使多根籽晶与硅溶区接触，通过调整硅溶区温度和籽晶向上的提升速度使籽晶体直径逐渐变大，当硅芯直径接近目标直径时，控制籽晶的直径做等径生长；在生长后期停止供料，视硅芯直径大小控制速度与硅溶区进行脱离，而后将拉制完成的硅芯放在转盘的硅芯存放位上，移取籽晶夹头位上的籽晶夹头进行熔接，该方法对应有特制的硅芯制备炉；本发明可充分利用多晶生产过程中的玉米料、边角料等，有利于降低多晶硅制备过程中的能耗、投资以及人工费用，有利于降低生产太阳能级多晶硅的成本。

主权项

一种高效率制备硅芯的方法，其特征在于制备方法如下：第一步，将多晶硅装在石英坩埚（11）内，并加热至溶化；第二步，将石英坩埚（11）内溶化后的硅溶区（3）进行降温；第三步，把带有多根硅籽晶（1）的夹头装置往下降，使夹头装置下的多根硅籽晶（1）与硅溶区（3）接触，通过调整硅溶区（3）的温度和硅籽晶（1）向上的提升速度，使硅籽晶（1）直径逐渐变大成为硅芯（2），当硅芯（2）直径接近目标直径时，控制硅芯（2）的直径做等径生长； 第四步，在生长过程的后期，石英坩埚（11）停止供料，视硅芯（2）直径大小来控制硅籽晶（1）的提升速度，使得硅芯（2）与硅溶区（3）进行脱离，而后将拉制完成的硅芯（2）放在相应的存放位上，并移取硅籽晶夹头位（17）上的硅籽晶夹头（12）进行熔接，再重复上面步骤。