[发明专利]一种网络状绒面AZO透明导电膜的制备方法

摘要

本发明提供了一种具有网络状绒面的AZO透明导电膜的制备方法，其特征是：采用溶胶–凝胶法制备AZO薄膜；选择一定的Al掺杂浓度，采用适当的热处理工艺获得具有网络状绒面的AZO透明导电膜。本发明具有能耗小、设备简单、重复性好、易于工业化生产的优点。由本方法制备的网络状绒面AZO透明导电膜可应用于气敏传感器、吸波、光催化、薄膜太阳能电池等领域。

主权项

一种网络状绒面AZO透明导电膜的制备方法，具体步骤为：（1）ZnO:Al胶体溶液的配制将一定量分析纯醋酸锌和硝酸铝在搅拌下加入无水乙醇/乙二醇甲醚，并加入适量二乙醇胺或单乙醇胺，继续搅拌1~2小时，得到透明稳定的胶体溶液；（2）衬底清洗将玻璃衬底置于去离子水、丙酮、无水乙醇中依次进行超声清洗，然后用去离子水冲洗，最后将衬底置于烘箱中晾干；（3）薄膜制备将预先清洗好的玻璃衬底浸渍到上述透明胶体溶液中，然后以恒定速度缓慢上升，从而在衬底上涂覆一层均匀的胶体膜，将胶体膜在400°C进行预处理以除去膜中的有机溶剂，重复上述步骤若干次，获得不同厚度的AZO薄膜；（4）薄膜的热处理将获得的AZO薄膜置于箱式炉中在空气中热处理1 h，然后将样品置于管式炉中，在还原气氛下热处理1 h，然后缓慢冷却至室温。