[发明专利]一种MEMS可调标准具无效
| 申请号： | 201110306200.6 | 申请日： | 2011-10-11 |
| 公开（公告）号： | CN103048781A | 公开（公告）日： | 2013-04-17 |
| 发明（设计）人： | 吴砺;柏天国;李阳 | 申请（专利权）人： | 福州高意通讯有限公司 |
| 主分类号： | G02B26/00 | 分类号： | G02B26/00;G02B1/10 |
| 代理公司： | 福建炼海律师事务所 35215 | 代理人： | 许育辉 |
| 地址： | 350001 福*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种MEMS可调标准具，包括一标准具腔片和MEMS，所述MEMS纵向可调，其上表面镀高反膜，作为标准具的一个腔片，固定于MEMS固定支架上；所述标准具腔片镀反射膜，固定于腔片固定支架上；所述MEMS固定支架与腔片固定支架之间由两根或两根以上的钢针固定连接；腔片固定支架通过焊锡焊接于钢针上；MEMS上表面与标准具腔片的反射面相互平行，构成一空气隙可调标准具。本发明采用钢针焊接方式，焊点小、应力小，较易控制；标准具腔面与MEMS上表面的平行度可以采用扳手扳平，或者利用侧支架上的调节螺丝轻松的调节，该标准具具有结构简单，调节简易方便等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 可调 标准 | ||
【主权项】：
一种MEMS可调标准具，包括一标准具腔片和MEMS，其特征在于：所述MEMS纵向可调，其上表面镀高反膜，固定于MEMS固定支架上；所述标准具腔片镀反射膜，固定于腔片固定支架上；所述MEMS固定支架与腔片固定支架之间由两根或两根以上的钢针固定连接；MEMS上表面与标准具腔片的反射面相互平行。
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