[发明专利]具有非晶部分和微晶部分的溅射靶有效
| 申请号： | 201110306279.2 | 申请日： | 2011-10-08 |
| 公开（公告）号： | CN102534500A | 公开（公告）日： | 2012-07-04 |
| 发明（设计）人： | A·赫尔佐克;S·施奈德-贝茨;M·施洛特;C·施塔尔 | 申请（专利权）人： | 贺利氏材料工艺有限及两合公司 |
| 主分类号： | C23C14/08 | 分类号： | C23C14/08;C23C14/34;C04B35/01;C04B35/453;C04B35/626;C04B35/64 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 丁业平;金小芳 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种具有非晶部分和微晶部分的溅射靶。本发明的目的是提供这样一种溅射靶，其能够确保在溅射靶使用期内产生恒定均一的溅射材料层。上述目的是通过具有铟、锌和镓的氧化物混合物的溅射靶而实现的，该混合物含有至少一种铟、锌和镓的三元混合氧化物，其中铟、锌和镓的三元混合氧化物部分占混合物总重量的至少50重量％，并且非晶相部分占混合物总重量的至少20重量％。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 部分 溅射 | ||
【主权项】：
一种具有铟、锌和镓的氧化物混合物的溅射靶，其含有至少一种铟、锌和镓的三元混合氧化物，该溅射靶的特征在于：铟、锌和镓的三元混合氧化物部分占所述混合物的总重量的至少50重量％，并且非晶相部分占所述混合物的总重量的至少20重量％。
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