[发明专利]一种透明导电膜用蚀刻液及其制备方法有效
| 申请号： | 201110306381.2 | 申请日： | 2011-10-11 |
| 公开（公告）号： | CN102382657A | 公开（公告）日： | 2012-03-21 |
| 发明（设计）人： | 冯卫文 | 申请（专利权）人： | 绵阳艾萨斯电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C09K13/00 | 分类号： | C09K13/00;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 | 代理人： | 关畅 |
| 地址： | 621000 四川省绵*** | 国省代码： | 四川;51 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种透明导电膜用蚀刻液及其制备方法。本发明提供的透明导电膜用蚀刻液，包括草酸、邻氟苯甲酸、烷基酚聚氧乙烯醚、消泡剂和水。所述草酸占蚀刻液总重的0.5-10％，优选为1-5％；所述邻氟苯甲酸占蚀刻液总重的0.1-5％，优选0.5-2％；所述烷基酚聚氧乙烯醚占蚀刻液总重的0.01-5％，优选0.1-1％；所述消泡剂占蚀刻液总重的0.001-1％，优选0.01-0.1％；余量为所述水。该蚀刻液在蚀刻过程中完全不产生蚀刻残渣，有效抑制有效起泡，没有大量泡沫产生，且能够在温和的工作条件下对无定形ITO膜高效且高精度对ITO膜进行蚀刻，蚀刻效率和精度均满足现有要求，具有重要的应用价值。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 透明 导电 蚀刻 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种透明导电膜用蚀刻液，包括草酸、邻氟苯甲酸、烷基酚聚氧乙烯醚、消泡剂和水。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于绵阳艾萨斯电子材料有限公司，未经绵阳艾萨斯电子材料有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201110306381.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
