[发明专利]包含相位元件的垂直入射宽带偏振光谱仪和光学测量系统

摘要

本发明公开一种包含相位元件的垂直入射宽带偏振光谱仪，包括光源、分光元件、聚光单元、偏振器、相位补偿元件、第一曲面反射元件、第一平面反射元件和探测单元。本发明还公开一种光学测量系统，包括所述的垂直入射宽带偏振光谱仪。该垂直入射宽带偏振光谱仪利用至少一个平面反射元件改变会聚光束传播方向，实现探测光束垂直入射并会聚于样品表面，易于调节聚焦、可实现无色差、可保持偏振特性、且结构简单。而且，根据本发明提供的垂直入射光谱仪及光学测量系统，增加了相位补偿元件，通过椭圆偏振测量法可以准确测量出样品琼斯矩阵中rxx、ryy的相位差Δ，即Δ的正弦和余弦函数，增加了偏振光谱仪的测量精度。

主权项

一种包含相位元件的垂直入射宽带偏振光谱仪，其特征在于，包括：光源、分光元件、聚光单元、偏振器、相位补偿元件、第一曲面反射元件、第一平面反射元件和探测单元；所述分光元件设置于所述光源和所述聚光单元之间的光路中，用于使来自光源的光束在入射至所述聚光单元之前部分地通过，以及接收从样品上反射的、且依次经过所述第一平面反射元件、所述第一曲面反射元件、所述相位补偿元件、所述偏振器和所述聚光单元的光束并将该光束反射至所述探测单元；所述聚光单元，接收通过所述分光元件的光束并使该光束变成平行光束；所述偏振器设置于所述聚光单元和所述相位补偿元件之间，使所述平行光束变成偏振光束； 所述相位补偿元件设置于所述偏振器和所述第一曲面反射元件之间，调整所述偏振光束的偏振状态并使光束透射通过；所述第一曲面反射元件，接收通过所述相位补偿元件的平行光束并使该光束变成会聚光束；所述第一平面反射元件，接收所述会聚光束并将所述会聚光束反射后垂直地聚焦到样品上；以及所述探测单元用于探测从样品上反射的且依次经过所述第一平面反射元件、所述第一曲面反射元件、所述相位补偿元件、所述偏振器和所述聚光单元并被所述分光元件反射的光束。