[发明专利]一种用于生产直拉重掺磷单晶的防爆装置及防爆方法有效
| 申请号： | 201110308210.3 | 申请日： | 2011-10-12 |
| 公开（公告）号： | CN102383185A | 公开（公告）日： | 2012-03-21 |
| 发明（设计）人： | 康冬辉;张雪囡;李建弘;李立伟;徐强;王林;高树良;沈浩平 | 申请（专利权）人： | 天津市环欧半导体材料技术有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00 |
| 代理公司： | 天津中环专利商标代理有限公司 12105 | 代理人： | 王凤英 |
| 地址： | 300384 天津市西青*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于生产直拉重掺磷单晶的防爆装置及防爆方法。本防爆装置包括空气净化器、气体流量阀、气体流量计、环形管道、数个的分支管道及连接管道，所述空气净化器、气体流量阀及气体流量计通过连接管道连接，连接管道的一端与环形管道相通连接，每个分支管道的一端与环形管道相通连接，另一端伸入到炉体内部。其防爆方法是在生产重掺磷单晶过程中，掺杂开始后，打开气体流量阀，通入定量的净化空气，直至拉晶收尾，埚底料凝固结晶超过1~5min后停止通入净化空气。采取本发明，有效地解决了直拉重掺磷单晶清炉时容易爆炸的问题，从而保证了工艺的安全性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 生产 直拉重掺磷单晶 防爆 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种用于生产直拉重掺磷单晶的防爆装置，其特征在于：包括空气净化器（1）、气体流量阀（2）、气体流量计（3）、环形管道（4）、数个分支管道（5）及连接管道（6），所述空气净化器（1）、气体流量阀（2）及气体流量计（3）通过连接管道（6）连接，连接管道（6）的一端与环形管道（4）相通连接，每个分支管道（5）的一端与环形管道（4）相通连接，另一端伸入到炉体（7）内部。
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