[发明专利]DLC包覆部件有效
| 申请号： | 201110309453.9 | 申请日： | 2011-10-10 |
| 公开（公告）号： | CN102443764A | 公开（公告）日： | 2012-05-09 |
| 发明（设计）人： | 铃木雅裕;齐藤利幸;山川和芳 | 申请（专利权）人： | 株式会社捷太格特 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C16/27 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 王轶;李伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | DLC包覆部件(100)包括：基材(200)、覆盖基材(200)的表面的中间层(300)、以及覆盖中间层(300)的表面的DLC膜(400)。中间层(300)具有五层构造，具备：第一中间层(301)、第二中间层(302)、第三中间层(303)、第四中间层(304)、第五中间层(305)。五层的层(301～305)均由添加有Si的DLC构成。在层(301～305)中，第一中间层(301)的Si浓度最高，其次高的是第五中间层(305)的Si浓度。并且，第二、第三以及第四中间层(302、303、304)的Si浓度比第一以及第五中间层(301、305)的Si浓度低。 | ||
| 搜索关键词： | dlc 部件 | ||
【主权项】：
一种DLC覆膜部件，该DLC覆膜部件利用DLC膜包覆基材的表面的至少一部分，所述DLC覆膜部件的特征在于，包括：基材；中间层，该中间层覆盖所述基材，以及DLC膜，该DLC膜覆盖所述中间层，所述中间层具有层叠三层以上的由添加有规定元素的DLC构成的层而得到的层叠结构，所述中间层包括从所述基材侧开始依次形成的第一层、第二层以及第三层，所述第一层以及所述第三层这两者的添加元素浓度比所述第二层的添加元素浓度高，或者比所述第二层的添加元素浓度低。
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