[发明专利]一种基于微片激光器回馈干涉仪的位移数据处理方法有效
| 申请号： | 201110309474.0 | 申请日： | 2011-10-13 |
| 公开（公告）号： | CN102506715A | 公开（公告）日： | 2012-06-20 |
| 发明（设计）人： | 张书练;张松;任舟;谈宜东 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 | 代理人： | 徐宁;关畅 |
| 地址： | 100084 北京市海淀*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种基于微片激光器回馈干涉仪的位移数据处理方法，包括如下步骤：包括有微片激光器回馈干涉仪、混频器、滤波器、放大器、单端信号适配器、相位计和计算机的外差信号处理系统；将从微片激光器回馈干涉仪得到的光信号输入到滤波器、放大器对信号进行滤波放大处理得到频率单一的光信号；将产生作为稳定的标准信号参与外差相位测量的电信号依次输入到滤波器、放大器对电信号进行滤波放大处理得到频率单一、大幅值的电信号；将产生的信号分别输入到所述单端信号适配器中，单端信号适配器将正弦信号转换为方波信号同时将方波信号输入到相位计中，利用相位计计算外腔相位变化量；将相位计解调出的外腔相位变化量通过计算机计算得到被测物体的位移变化量。本发明可以广泛应用于移频光回馈系统的信号处理中。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 激光器 回馈 干涉仪 位移 数据处理 方法 | ||
【主权项】：
一种基于微片激光器回馈干涉仪的位移数据处理方法，包括如下步骤：1)设置一包括有微片激光器回馈干涉仪、混频器、滤波器、放大器、单端信号适配器、相位计和计算机的外差信号处理系统；2)将从所述微片激光器回馈干涉仪得到反映被测物体位移变化量的光信号依次输入到滤波器、放大器对信号进行滤波放大处理得到频率单一、大幅值的光信号；3)将产生作为稳定的标准信号参与外差相位测量的电信号依次输入到滤波器、放大器对电信号进行滤波放大处理得到频率单一、大幅值的电信号；4)将所述步骤2)和步骤3)产生的信号分别输入到所述单端信号适配器中，单端信号适配器将正弦信号转换为方波信号同时将方波信号输入到相位计中，利用相位计计算外腔相位变化量；5)将相位计解调出的外腔相位变化量通过计算机计算得到被测物体的位移变化量，并将位移变化量的结果显示在计算机上。
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