[发明专利]ZnSnS薄膜与ZnSnS/SnS 异质结的制备与太阳能电池应用有效

专利信息
申请号: 201110309884.5 申请日: 2011-10-13
公开(公告)号: CN102315333A 公开(公告)日: 2012-01-11
发明(设计)人: 徐骏;喀哈尔·玉苏普;林涛;徐岭;陈坤基;肖金荣;耿雷 申请(专利权)人: 南京大学
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18;H01L31/032;H01L31/04;C25D9/04;C25D5/18
代理公司: 南京天翼专利代理有限责任公司 32112 代理人: 陈建和
地址: 210093 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 三元ZnSnS薄膜的制备方法,以玻璃、陶瓷或硅片镀有金属膜作为电极构成带电极的衬底材料、或采用ITO衬底,经清洗后在电解液中以脉冲电位法进行电沉积,电解液的温度为室温至45℃;电沉积过程:在阴极即工作电极上夹好带电极的衬底或ITO衬底浸入到电解液中,调节脉冲电位法的参数为,开启电位-1.0至-1.2V,开启时间10,沉积时的关断电位不是0V,而是设置为负关断电位-0.6V,关断时间10s;重复上述电沉积过程或增加相应的脉冲次数以获得需要的厚度;本发明的改进脉冲电沉积制备方法,一步获得相关薄膜,其设备和制备过程简单,可实现大面积制备,成本低。
搜索关键词: znsns 薄膜 sns 异质结 制备 太阳能电池 应用
【主权项】:
三元ZnSnS薄膜的制备方法,其特征是电沉积一步生长ZnSnS薄膜的方法,具体过程如下:玻璃、陶瓷或硅片镀有金属膜作为电极构成带电极的衬底材料、或采用ITO衬底,经清洗后在电解液中以脉冲电位法进行电沉积,电解液的温度为室温至45℃;电沉积过程:在阴极即工作电极上夹好带电极的衬底或ITO衬底浸入到电解液中,调节脉冲电位法的参数为,开启电位 1.0至 1.2V,开启时间10±2s,沉积时的关断电位不是0V,而是设置为负关断电位 0.6±0.1V,关断时间10±2s;重复上述电沉积过程或增加相应的脉冲次数以获得需要的厚度;电解液的配备:硫代硫酸钠为100±20mM,硫酸锌为20 40mM,调节硫酸亚锡的浓度从0.1 10mM来制备出具有不同Sn组分比的薄膜,然后通过滴入稀硫酸使溶液pH调节为2.0 4。
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