[发明专利]ZnSnS薄膜与ZnSnS/SnS 异质结的制备与太阳能电池应用有效
申请号: | 201110309884.5 | 申请日: | 2011-10-13 |
公开(公告)号: | CN102315333A | 公开(公告)日: | 2012-01-11 |
发明(设计)人: | 徐骏;喀哈尔·玉苏普;林涛;徐岭;陈坤基;肖金荣;耿雷 | 申请(专利权)人: | 南京大学 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L31/032;H01L31/04;C25D9/04;C25D5/18 |
代理公司: | 南京天翼专利代理有限责任公司 32112 | 代理人: | 陈建和 |
地址: | 210093 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 三元ZnSnS薄膜的制备方法,以玻璃、陶瓷或硅片镀有金属膜作为电极构成带电极的衬底材料、或采用ITO衬底,经清洗后在电解液中以脉冲电位法进行电沉积,电解液的温度为室温至45℃;电沉积过程:在阴极即工作电极上夹好带电极的衬底或ITO衬底浸入到电解液中,调节脉冲电位法的参数为,开启电位-1.0至-1.2V,开启时间10,沉积时的关断电位不是0V,而是设置为负关断电位-0.6V,关断时间10s;重复上述电沉积过程或增加相应的脉冲次数以获得需要的厚度;本发明的改进脉冲电沉积制备方法,一步获得相关薄膜,其设备和制备过程简单,可实现大面积制备,成本低。 | ||
搜索关键词: | znsns 薄膜 sns 异质结 制备 太阳能电池 应用 | ||
【主权项】:
三元ZnSnS薄膜的制备方法,其特征是电沉积一步生长ZnSnS薄膜的方法,具体过程如下:玻璃、陶瓷或硅片镀有金属膜作为电极构成带电极的衬底材料、或采用ITO衬底,经清洗后在电解液中以脉冲电位法进行电沉积,电解液的温度为室温至45℃;电沉积过程:在阴极即工作电极上夹好带电极的衬底或ITO衬底浸入到电解液中,调节脉冲电位法的参数为,开启电位 1.0至 1.2V,开启时间10±2s,沉积时的关断电位不是0V,而是设置为负关断电位 0.6±0.1V,关断时间10±2s;重复上述电沉积过程或增加相应的脉冲次数以获得需要的厚度;电解液的配备:硫代硫酸钠为100±20mM,硫酸锌为20 40mM,调节硫酸亚锡的浓度从0.1 10mM来制备出具有不同Sn组分比的薄膜,然后通过滴入稀硫酸使溶液pH调节为2.0 4。
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H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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