[发明专利]一种溶剂热法制备SmS 薄膜的方法有效
申请号: | 201110310321.8 | 申请日: | 2011-10-13 |
公开(公告)号: | CN102409392A | 公开(公告)日: | 2012-04-11 |
发明(设计)人: | 殷立雄;黄剑锋;郝巍;曹丽云;吴建鹏;侯艳超;马小波 | 申请(专利权)人: | 陕西科技大学 |
主分类号: | C30B7/10 | 分类号: | C30B7/10;C30B29/46;C30B29/64 |
代理公司: | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人: | 陆万寿 |
地址: | 710021 *** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 一种溶剂热法制备SmS薄膜的方法,在去离子水中通入Ar气除去水中的O2;将分析纯SmCl3·6H2O溶入通入Ar气的去离子水中配置成A溶液;将分析纯硫代乙酰胺溶入无水乙醇中配置成B溶液;将溶液A和B混合均匀调节pH值得溶液C;将溶液C倒入水热釜中,并将基片置于其中,密封水热釜,将在电热真空干燥箱中反应结束后自然冷却到室温,将基片用无水乙醇或异丙醇洗涤后干燥即在基板表面获得SmS光学薄膜。由于本发明制备SmS薄膜反应在有机或混合液相中一次完成,不需要后期的晶化热处理,从而避免了SmS薄膜在热处理过程中可能导致的卷曲、干裂、晶粒粗化以及薄膜与衬底或气氛反应等缺陷,且工艺设备简单,易获得高压,反应温度低,所得膜纯度较高,晶粒生长可控。 | ||
搜索关键词: | 一种 溶剂 法制 sms 薄膜 方法 | ||
【主权项】:
一种溶剂热法制备SmS薄膜的方法,其特征在于包括以下步骤:步骤一:在去离子水中通入Ar气除去水中的O2;步骤二:将分析纯SmCl3·6H2O溶入通入Ar气的去离子水中,配置成浓度为0.03~0.4mol/L的SmCl3溶液,标记为A;将分析纯硫代乙酰胺(H3CCSNH2)溶入无水乙醇中,配置成0.03~0.4mol/L的硫代乙酰胺的乙醇溶液,标记为B;步骤三:将溶液A和B按照2∶1~1∶6体积比混合搅拌均匀,用HCl或氨水溶液调节pH值为2.00~5.00,标记为C;步骤四:将溶液C倒入水热釜中,填充度控制在50~60%,放入已清洁好的基片,密封水热釜,将其放入电热真空干燥箱中,控制水热温度为120~180℃,压力为2~20MPa反应10~48小时;步骤五:反应结束后自然冷却到室温,打开水热釜,将基片用无水乙醇或异丙醇洗涤4~6次,并置于40~60℃的电热真空干燥箱内干燥2~8小时后即在基板表面获得SmS光学薄膜。
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