[发明专利]基于石英音叉的三维谐振触发测头及三维谐振触发定位方法有效

专利信息
申请号: 201110311619.0 申请日: 2011-10-14
公开(公告)号: CN102506701A 公开(公告)日: 2012-06-20
发明(设计)人: 黄强先;王毛翠;张昔峰;黄帅;赵剑;王广红 申请(专利权)人: 合肥工业大学
主分类号: G01B7/34 分类号: G01B7/34
代理公司: 安徽省合肥新安专利代理有限责任公司 34101 代理人: 何梅生
地址: 230009 *** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 发明公开了一种基于石英音叉的三维谐振触发测头及三维谐振触发定位方法,其特征是:采用石英音叉作为微力传感器,石英音叉的一个音叉臂上固定压电驱动器,另一个音叉臂上固定压电传感器;石英音叉在Z方向上的振动方向与试样表面垂直,在X、Y方向上的振动方向与试样表面平行,在靠近试样所在一侧的音叉臂上,固定设置一体式微测杆测球,以锁相环路输出的正弦交流信号施加于压电驱动器作为励振信号,通过压电传感器检测音叉谐振信号。当微小的三维外力导致测头的谐振频率发生变化时,谐振石英音叉测头的谐振频率随之发生变化,通过检测石英音叉的谐振频率的变化,实现三维谐振触发测头的三维谐振触发定位。
搜索关键词: 基于 石英 音叉 三维 谐振 触发 定位 方法
【主权项】:
基于石英音叉的三维谐振触发测头,其特征是:采用石英音叉(1)作为实现三维谐振触发定位的微力传感器,在所述石英音叉(1)的一个音叉臂上固定有压电驱动器(2),在另一个音叉臂上固定有压电传感器(3);设置所述石英音叉(1)在Z方向上的振动方向与试样表面垂直,在X、Y方向上的振动方向与试样表面平行,在靠近试样(6)所在一侧的音叉臂上,固定设置一体式微测杆测球(7),以锁相环路输出的正弦交流信号(4)施加于所述压电驱动器(2)作为励振信号,通过压电传感器(3)检测音叉谐振信号(5)。
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