[发明专利]刻印方法和刻印装置有效
| 申请号： | 201110313093.X | 申请日： | 2008-02-05 |
| 公开（公告）号： | CN102360162A | 公开（公告）日： | 2012-02-22 |
| 发明（设计）人： | 奥岛真吾;末平信人;关淳一;春见和之 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;G03F9/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 张涛 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及一种刻印方法和刻印装置。一种用于将设置在模具上的刻印图案刻印到形成在基片上的图案形成层上的刻印方法，所述方法由以下步骤构成，所述步骤为：第一个步骤，在所述第一个步骤中，借助反馈控制进行基片与模具之间的对准；第二个步骤，在所述第二个步骤中，使模具与图案形成层相互接触；第三个步骤，在所述第三个步骤中，将图案形成层固化；以及第四个步骤，在所述第四个步骤中，增大基片与模具之间的间隙。所述刻印方法还包括在第一个步骤与第二个步骤之间和/或在第二个步骤与第三个步骤之间将反馈控制停止的步骤。 | ||
| 搜索关键词： | 刻印 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种刻印方法，在该刻印方法中进行模具和基片的对准控制并且将形成在模具上的图案转印到设置在基片上的图案形成层上，所述刻印方法包括：在对准控制开始后在进行对准控制的同时使所述模具和所述基片彼此靠近的步骤，以使模具与图案形成层相互接触并且继而将图案形成层固化；和在图案形成层固化后增大模具与基片之间的间隙的步骤，其中所述刻印方法还包括在对准控制开始之后并且在所述模具接触图案形成层之前和之后中的至少一个时停止所述对准控制的步骤。
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