[发明专利]OLED用含钼和/或铝金属膜的蚀刻液及其制备方法有效
| 申请号： | 201110316299.8 | 申请日： | 2011-10-18 |
| 公开（公告）号： | CN102392248A | 公开（公告）日： | 2012-03-28 |
| 发明（设计）人： | 冯卫文 | 申请（专利权）人： | 绵阳艾萨斯电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/20 | 分类号： | C23F1/20;C23F1/26;H01L51/52 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 | 代理人： | 关畅 |
| 地址： | 621000 四川省绵*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种OLED用含钼和/或铝金属膜的蚀刻液及其制备方法。该蚀刻液，包括硝酸水溶液、磷酸水溶液、甜菜碱两性表面活性剂和水。其中，所述硝酸水溶液占所述蚀刻液总重的1-10％，优选2-8％；所述磷酸水溶液占所述蚀刻液总重的40-80％，优选50-70％；所述甜菜碱两性表面活性剂占所述蚀刻液总重的0.1-5％，优选0.5-2％；余量为所述水。该蚀刻液能有效改善蚀刻液和金属膜之间固液界面张力，提高金属表面的润湿性，不但稳定了蚀刻速度，提高蚀刻精度，最重要的是，能够有效的控制锥角在20°-70°，且没有蚀刻残渣，是一种高效高精度的蚀刻液，具有重要的应用价值。 | ||
| 搜索关键词： | oled 用含钼 金属膜 蚀刻 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种蚀刻液，包括硝酸水溶液、磷酸水溶液、甜菜碱两性表面活性剂和水。
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