[发明专利]真空镀膜用射频电源无效
| 申请号： | 201110316404.8 | 申请日： | 2011-10-18 |
| 公开（公告）号： | CN102392214A | 公开（公告）日： | 2012-03-28 |
| 发明（设计）人： | 沙晓林 | 申请（专利权）人： | 沙晓林 |
| 主分类号： | C23C14/00 | 分类号： | C23C14/00 |
| 代理公司： | 南通市永通专利事务所 32100 | 代理人： | 葛雷 |
| 地址： | 226400 江苏省南通市如东县*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开了一种真空镀膜用射频电源，包括匹配电容传动部件，匹配电容传动部件采用齿轮比为2:15的齿轮传动部件。本发明结构合理，配匹时间快，精度高，片间均匀性得到有效提高。 | ||
| 搜索关键词： | 真空镀膜 射频 电源 | ||
【主权项】：
一种真空镀膜用射频电源，包括匹配电容传动部件，其特征是：匹配电容传动部件采用齿轮比为2:15的齿轮传动部件。
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