[发明专利]一种高分子材料表面改性等离子体处理方法及其装置

摘要

本发明公开了一种高分子材料表面改性等离子体处理方法及其装置，真空密封室内的电极采用圆柱状，并按“+”、“-”相间的阵列方式放置；电极阵列两端安装有导向辊，物料经导向辊在电极对中通过；电极内部为空腔，两端分别设有冷却水进、出口，与冷却水循环装置连接。通过控制主动导向辊的正、反转，使物料能够正、反向传输。本发明所述方法及其装置不仅能完成对薄膜状高分子材料的等离子体表面活化处理，而且可以同步完成等离子体接枝或等离子体沉积处理，具有处理效果均匀、工作效率高、无环境污染等特点。

主权项

一种高分子材料表面改性等离子体处理方法，其特征在于，步骤一：打开真空室，移出真空罩，将待处理的高分子物料装在真空室内的驱动辊上，并且使高分子物料经过导向辊，穿过真空室内电极之间的间隙，最后缠绕在驱动辊的收料筒上，推入真空罩，关闭真空室，关闭放气阀；步骤二：通过抽真空装置对真空室进行预抽真空操作，之后向真空室内通入反应气；步骤三：开启高频电源，产生辉光，启动驱动辊上的驱动电机，物料从放料辊向收料辊运动的同时，对其进行表面活化或接枝处理；步骤四：处理完毕后，关闭电源、关闭工作气体路上的针阀，停止真空泵，开启放气阀，使得真空室内的压力恢复常压，最后打开真空室，移出真空罩，取出处理好的物料。