[发明专利]透射电子显微镜-薄片、其制作方法及用于实施该方法的设备

摘要

一种TEM-薄片制作方法包括将具有厚度的板状基底安装(51)在支撑件内；用粒子束在基底第一侧面上制作(53)相对支撑件成第一角度的第一条形凹部；及用粒子束在基底第二侧面上制作(55)相对支撑件成第二角度的第二条形凹部，使第一和第二条形凹部彼此成锐角或直角，且二者间形成厚度更小的交叠区域。薄片具有较厚的边缘区域和较薄的中央区域，其第一侧上有第一条形凹部，第二侧上有第二条形凹部，第一和第二条形凹部彼此成锐角或直角，且二者间形成厚度小于100nm的交叠区域。一种实施上述方法或制作上述薄片的设备包括可绕横轴和相对竖直方向倾斜的纵轴枢转的薄片支撑件、用于绕纵轴旋转的装置、及限制薄片支撑件绕横轴的倾侧的制动件。

主权项

一种用于进行透射电子显微镜检验的样品的制备方法，所述方法包括：将基底安装到支撑件上，所述基底具有中央平面以及垂直于所述中央平面测量的厚度，所述支撑件具有垂直于安装方向的安装平面；利用粒子束在所述基底的第一侧面上制作第一条形凹部，所述第一条形凹部具有第一纵向，在所述第一条形凹部的纵向和所述支撑件的安装方向之间具有第一角度；以及利用所述粒子束在所述基底的第二侧面上制作第二条形凹部，所述第二条形凹部具有第二纵向，在所述第二条形凹部的第二纵向和所述支撑件的安装方向之间具有第二角度，使得所述第一和第二条形凹部的第一和第二纵向相互之间形成锐角或直角，并且所述第一和第二凹部之间形成厚度比所述基底厚度更小的交叠区域。