[发明专利]氮化物类半导体激光元件和光学装置无效
申请号: | 201110319247.6 | 申请日: | 2011-10-14 |
公开(公告)号: | CN102457017A | 公开(公告)日: | 2012-05-16 |
发明(设计)人: | 村山佳树 | 申请(专利权)人: | 三洋电机株式会社 |
主分类号: | H01S5/028 | 分类号: | H01S5/028 |
代理公司: | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人: | 龙淳 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供一种氮化物类半导体激光元件和光学装置。该氮化物类半导体激光元件具备由具有出射侧谐振器面和反射侧谐振器面的氮化物类半导体构成的半导体元件层以及形成于出射侧谐振器面的端面涂膜。端面涂膜具有与出射侧谐振器面接触形成的由氮化铝构成的第1电介质膜、形成于第1电介质膜的出射侧谐振器面相反侧的由氧氮化铝构成的第2电介质膜、形成于第2电介质膜的第1电介质膜相反侧的由氧化铝构成的第3电介质膜、形成于第3电介质膜的第2电介质膜相反侧的由氧氮化铝构成的第4电介质膜和形成于第4电介质膜的第3电介质膜相反侧的由氧化铝构成的第5电介质膜。 | ||
搜索关键词: | 氮化 物类 半导体 激光 元件 光学 装置 | ||
【主权项】:
一种氮化物类半导体激光元件,其特征在于,具备:包含发光层的、由具有出射侧谐振器面和反射侧谐振器面的氮化物类半导体构成的半导体元件层,和形成于所述出射侧谐振器面的端面涂膜,所述端面涂膜具有与所述出射侧谐振器面接触形成的由氮化铝构成的第1电介质膜、形成于所述第1电介质膜的所述出射侧谐振器面相反侧的由氧氮化铝构成的第2电介质膜、形成于所述第2电介质膜的所述第1电介质膜相反侧的由氧化铝构成的第3电介质膜、形成于所述第3电介质膜的所述第2电介质膜相反侧的由氧氮化铝构成的第4电介质膜和形成于所述第4电介质膜的所述第3电介质膜相反侧的由氧化铝构成的第5电介质膜。
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