[发明专利]一种喷砂设备无效
申请号: | 201110319310.6 | 申请日: | 2011-10-19 |
公开(公告)号: | CN103056783A | 公开(公告)日: | 2013-04-24 |
发明(设计)人: | 宋常乐;刘学;蔡龙;袁刚;张鹏;崔三观;吴阿敏 | 申请(专利权)人: | 浙江昱辉阳光能源有限公司 |
主分类号: | B24C3/02 | 分类号: | B24C3/02;B24C3/32;B24C5/04;B24C9/00 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 逯长明 |
地址: | 314117 浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明提供了一种喷砂设备,用于去除硅片边缘,包括:置片箱;设置在所述置片箱的底板上的硅片夹具;喷砂枪,其喷头与装夹在所述硅片夹具的硅片相对并设置在所述置片箱的内壁上;通过砂料管与所述喷砂枪相连的砂料箱,所述砂料箱设置在所述置片箱上;通过气管与所述喷砂枪相连的空气压缩机。工作时,空气压缩机产生的压缩空气通过气管进入喷砂枪,在喷砂枪内部产生负压,由于负压的作用,与喷砂箱相连的砂料箱内的砂料通过砂料管进入喷砂枪并随高压气流对硅片边缘进行喷射处理。与现有技术中的通过操作人员手工打磨相比,本发明提供的喷砂设备用机械化设备替代手工打磨,明显的降低了操作人员的劳动强度。 | ||
搜索关键词: | 一种 喷砂 设备 | ||
【主权项】:
一种喷砂设备,用于去除硅片边缘,其特征在于,包括:置片箱(11);设置在所述置片箱(11)的底板上的硅片夹具(2);喷砂枪(3),其喷头与装夹在所述硅片夹具(2)的硅片(21)相对并设置在所述置片箱(11)的内壁上;通过砂料管(31)与所述喷砂枪(3)相连的砂料箱(4),所述砂料箱(4)设置在所述置片箱(11)上;通过气管与所述喷砂枪(3)相连的空气压缩机。
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