[发明专利]发光二极管激光剥离方法无效
| 申请号： | 201110319324.8 | 申请日： | 2011-10-18 |
| 公开（公告）号： | CN103066166A | 公开（公告）日： | 2013-04-24 |
| 发明（设计）人： | 陈复邦;曾瑞贤;张智松 | 申请（专利权）人： | 联胜光电股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/00 | 分类号： | H01L33/00;B23K26/00 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 梁挥 |
| 地址： | 中国台湾台中*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种发光二极管激光剥离方法，其为于一转换基板上外延形成一外延层之前，对应该外延层的隔离区域，先于该转换基板上形成一高低落差结构，据此于具有该高低落差结构的该转换基板之上，外延形成该外延层，即可藉由该高低落差结构释放材料接口间的应力，因而在激光剥离该转换基板与该外延层时，即可有效降低破片机率，而提升工艺合格率。 | ||
| 搜索关键词： | 发光二极管 激光 剥离 方法 | ||
【主权项】：
一种发光二极管激光剥离方法，应用于一转换基板与一外延层的激光剥离，且该外延层定义有一隔离区域以隔出多个晶粒，其特征在于：在于该转换基板上外延形成该外延层之前，对应该外延层的隔离区域，先于该转换基板上形成一高低落差结构，再让该转换基板上外延形成该外延层。
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