[发明专利]一种细间距菲林线路贴合保护膜的方法无效
申请号: | 201110320012.9 | 申请日: | 2011-10-20 |
公开(公告)号: | CN102423951A | 公开(公告)日: | 2012-04-25 |
发明(设计)人: | 钟强锋;李兆辉 | 申请(专利权)人: | 番禺南沙殷田化工有限公司 |
主分类号: | B32B37/10 | 分类号: | B32B37/10;B32B38/10 |
代理公司: | 广州致信伟盛知识产权代理有限公司 44253 | 代理人: | 郭晓桂 |
地址: | 511458 广*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 一种细间距菲林线路贴合保护膜的方法,其步骤包括:a)首先用贴膜机将含粘合胶层的保护膜贴合于需要保护的菲林胶片上;b)接着将该贴好保护膜的胶片置于压力在0~1MPa的高压釜中,温度在0~100℃下放置0~24小时即可将除去微小气泡,提高精密菲林线路的解像度。该方法工艺简单,贴合工艺不拘泥于贴合设备、设备工艺参数及保护膜本身,通过将贴好保护膜的菲林置于高压釜中作为除泡工艺,可有效的解决了困扰保护膜贴合菲林细间距线路边角的气泡问题,不但提高了生产效率,而且解决了气泡对曝光显影解析度的影响。 | ||
搜索关键词: | 一种 间距 线路 贴合 保护膜 方法 | ||
【主权项】:
一种细间距菲林线路贴合保护膜的方法,其步骤包括:a)首先用贴膜机将含粘合胶层的保护膜贴合于需要保护的菲林胶片上;b)接着将该贴好保护膜的胶片置于压力在0~1Mpa的高压釜中,温度在0~100℃下放置0‑24小时即可将除去微小气泡,提高精密菲林线路的解像度。
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