[发明专利]一种步进式光学加工系统和加工方法

摘要

一种步进式光学加工系统和光学加工方法，该系统包括加工平台、光学头、中央控制系统和位置补偿系统，其中位置补偿系统包括空间光调制器、位置检测系统和图形控制器，所述空间光调制器具有位置补偿区，该空间光调制器上显示的加工图形可以在该位置补偿区中偏移，通过加工图形的偏移来补偿由机械运动产生的位置误差，提高了加工的精度和效率。本发明还提供了一种使用上述光学加工系统的光学加工方法。

主权项

一种步进式光学加工系统，其特征在于：包括加工平台、光学头、中央控制系统和位置补偿系统，所述位置补偿系统包括：位置检测系统，用于检测光学头与加工平台的相对位置；空间光调制器，用于产生一加工图形，该加工图形经光学头缩放后，在一位于加工平台上的待加工物表面的预定曝光区曝光，该空间光调制器具有位置补偿区，位于上述加工图形的四周，且该加工图形能动的产生于该位置补偿区中；以及图形控制器，控制该加工图形在该空间光调制器的该位置补偿区中的产生位置，当该位置检测系统检测到光学头和加工平台之间的相对位置产生一位置误差时，该图形控制器控制该空间光调制器，使该加工图形在该位置补偿区中产生一位置偏移，该位置偏移满足该加工图形经光学头缩放后，达到预定曝光区。