[发明专利]柔性三维力传感器及其解耦方法和制作方法

摘要

本发明公开了一种基于柔性导电橡胶的柔性三维力传感器并提出了制作方法。柔性三维力传感器的基体为柔性导电橡胶，中间由四层微电极和导线阵列组成，并且每一层的导线都外接信号处理电路，通过检测电阻值的变化从而测得三维力的大小。柔性三维力传感器的关键是微电极和导线的制作，本专利采用了基于SU-8+PDMS的UV-LIGA工艺制作微电极和导线阵列。然后，把制作好的微电极和导线阵列放入传感器的模腔中，注入液态柔性导电橡胶。最后，经过一段时间的冷却固化，即可制作出了柔性三维力传感器。由于微电极的间距小，大大提高了传感器的灵敏度和精度，并可以批量化生产传感器。

主权项

柔性三维力传感器，其特征在于，包括第一层导线、第二层导线、第三层导线和第四层导线，所述第一层导线、第二层导线、第三层导线和第四层导线，层面间相互平行、各层导线间距相同；所述第一层导线、第二层导线、第三层导线和第四层导线上分别等间距连接的多只第一层电极、第二层电极、第三层电极和第四层电极；其中，各相邻层之间的导线垂直排列，相隔层的导线平行排列；所述第一层导线、第一层电极、第二层导线、第二层电极、第三层导线、第三层电极、第四层导线、第四层电极间均填充有导电橡胶；第一层导线、第二层导线、第三层导线和第四层导线均是绝缘导线。