[发明专利]一种用于构建层叠结构式低温等离子反应体的单元模块

摘要

本发明涉及一种用于构建层叠结构式低温等离子反应体的单元模块，属于臭氧生产技术领域。单元模块中的上、下地电极中各设有水冷通道，上、下地电极的两侧分别形成工作表面。围框通过上、下地电极两端部的凸台固定，并被相邻地电极的凸台固定后包围形成封闭腔体；介质板的工作面通过支撑介质丝紧贴在地电极的工作面上，之间形成工作气隙。支撑介质丝、介质板和上、下高压电极组成两个高压组件，弹性介质充填物将两个高压组件压紧在相应的上、下地电极的工作表面上。高压端子固定在围框上，高压引线的两端分别与上、下高压电极和高压端子连接。本单元模块结构简约合理，提高了臭氧合成效率，而且长期密封可靠，整机重量轻，设备成本低。

主权项

一种用于构建层叠结构式低温等离子反应体的单元模块，其特征在于该单元模块包括上地电极、下地电极、围框、支撑介质丝、介质板、上高压电极板、下高压电极板、高压引线和高压端子；所述的上地电极和下地电极中各设有水冷通道，上地电极和下地电极的两平面部分别带有凸台，在上地电极和下地电极的两侧分别形成工作表面；所述的围框通过上地电极和下地电极两端部的凸台固定在上地电极和下地电极之间，围框呈环状，被相邻地电极的凸台固定后包围形成封闭腔体，围框的两端分别设有进气道和出气道；所述的介质板的一侧为工作面，该工作面通过支撑介质丝紧贴在地电极的工作面上，介质板一侧的工作面与地电极的工作面之间形成工作气隙；所述的上高压电极和下高压电极板分别紧贴在相应的介质板上；支撑介质丝、介质板和上、下高压电极组成上、下两个高压组件，上、下两个高压组件置于由上、下地电极和围框形成的封闭腔体中，封闭腔体中充满弹性介质充填物，弹性介质充填物将两个高压组件压紧在相应的上、下地电极的工作表面上；所述的高压端子固定在围框上，所述的高压引线的一端与上、下高压电极固定，另一端与高压端子连接。