[发明专利]一种控制和解析PI微动台的装置

摘要

本发明公开了一种控制和解析PI微动台的装置，该装置主要用于光刻机中纳米定位工件台子系统。上位机将网口数据作为PI微动台的控制输入，送往网口数据接收发送模块处理；该装置中的数据处理模块将网口数据中的ASCII Command数据流转换成能被PI微动台识别的GCS Command数据流；再通过串口数据接收发送模块将GCS Command数据流发往PI微动台；装置中串口数据接收发送模块负责接收PI微动台的反馈数据，并通过数据解析模块将GCS Command数据流转换为ASCII Command数据流；网口数据接收发送模块将解析后的数据按规定格式重新封装后，发送到上位机。该装置集成在原有控制电路中，在不影响原有控制功能的前提下，简化了PI微动台的控制环节，使得纳米定位工件台子系统结构更紧凑，性能更可靠，实时性更强。

主权项

一种控制和解析PI微动台的装置，其特征在于：该装置包括：网口数据接收发送模块、数据处理模块、串口数据接收发送模块和数据解析模块，其中，所述网口数据接收发送模块，其包括网口数据接收模块和网口数据发送模块，由网络接口电路、以太网控制器、网络接口适配电路组成；网口数据接收模块负责接收上位机发送的网口数据作为PI微动台的控制输入指令；网口数据发送模块负责将待发送的标准ASCIICommand数据流在网络接口电路中按照TCP/IP协议打包成物理传输帧，经由网络接口适配电路后，送往上位机；所述数据处理模块，其包括数据提取模块和数据封装模块。上位机发送过来的数据帧经由数据提取模块将其中有效数据保存，送往数据封装模块将其ASCII Command数据格式封装成PI设备能识别的标准GCS Command数据格式。所述串口数据接收发送模块，其包括串口数据接收模块和串口数据发送模块，由异步串行通信接口电路和异步串口RS232转换电路组成；在串口数据发送模块中，待发送的标准GSCCommand数据在异步串行通信接口电路中打包成满足串口通信协议的数据帧后，在异步串口RS232转换电路完成电平转换后，发送到PI微动台；PI微动台发送过来的状态信息或位置数据，经由串口数据接收模块后，获得满足串口通信协议的非归零数据格式的数据；所述数据解析模块，其包括数据提取模块和数据封装模块；数据提取模块从串口数据中将GSC Command数据提取并保存，在数据封装模块中将其打包成ASCII Command数据流以便通过网口数据发送模块发送到上位机。