[发明专利]电磁加速联合等离子体辅助增强电子束物理气相沉积系统无效
| 申请号： | 201110326518.0 | 申请日： | 2011-10-24 |
| 公开（公告）号： | CN102383096A | 公开（公告）日： | 2012-03-21 |
| 发明（设计）人： | 张东博 | 申请（专利权）人： | 华北电力大学 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32 |
| 代理公司： | 北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246 | 代理人： | 张文宝 |
| 地址： | 102206 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明属于物理气相沉积技术领域，特别涉及一种电磁加速联合等离子体辅助增强电子束物理气相沉积系统。在真空室内设置上极板和下极板，在上极板的下方位置安装试样，在试样和下极板之间设置栅极；在沉积料棒周围设置环形的气体管道，在气体管道的内圈设置的冷却水管道；其中，上极板和下极板为正电极，栅极为负电极。该设备能够使被蒸发的气态材料具有一定的沉积速率和较好的指向性，从而能够有效地提高电子束物理气相沉积技术的沉积速率和沉积效率，进而提高涂层与基体的结合强度，另外，对于多坩埚条件下的沉积，如果为了获得某些特定区域的沉积涂层或者为了获得复合涂层，将会同过磁场改变粒子的行进路线，从而更好的沉积效果。 | ||
| 搜索关键词： | 电磁 加速 联合 等离子体 辅助 增强 电子束 物理 沉积 系统 | ||
【主权项】：
电磁加速联合等离子体辅助增强电子束物理气相沉积系统，其特征在于，在真空室(10)内设置可旋转的上极板(6a)和固定的下极板(6b)，在上极板(6a)上安装试样(1)，在试样(1)和下极板(6b)之间设置栅极(5)；在沉积料棒周围设置多个环绕沉积料棒分布的气体管道(8)，在气体管道的内圈设置的冷却水管道(9)；其中，上极板(6a)和下极板(6b)为正电极，栅极(5)为负电极。
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