[发明专利]铜靶材坯块的检测方法及铜靶材组件的形成方法无效
| 申请号： | 201110328435.5 | 申请日： | 2011-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN102393420A | 公开（公告）日： | 2012-03-28 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;王学泽;陈勇军 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料有限公司 |
| 主分类号： | G01N29/04 | 分类号： | G01N29/04 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 骆苏华 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市余姚*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种铜靶材坯块的检测方法，包括：提供铜靶材坯块，所述铜靶材坯块材质为超高纯铜；对所述铜靶材坯块进行超声波检测，其中，所述超声波的频率为5～20MHz。此外，本发明还提供一种铜靶材组件的形成方法，包括：采用上述的检测方法对铜靶材坯料进行检测；接着对合格的铜靶材坯料进行加工以形成铜靶材；之后将铜靶材焊接至背板，形成铜靶材组件。本发明采用的超声波检测比传统的射线照相检验法具有更高准确度，从而可以避免不合格铜靶材坯料的漏检，进而避免漏捡出的不合格坯料被进一步加工而导致形成靶材组件后才被认定不合格的状况。 | ||
| 搜索关键词： | 铜靶材坯块 检测 方法 铜靶材 组件 形成 | ||
【主权项】：
一种铜靶材坯块的检测方法，其特征在于，包括：提供铜靶材坯块，所述铜靶材坯块材质为超高纯铜；对所述铜靶材坯块进行超声波检测，其中，所述超声波的频率为5～20MHz。
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