[发明专利]一种Ag-Li共掺杂氧化锌薄膜的制备方法

摘要

本发明属于半导体材料与器件领域，具体涉及一种Ag-Li共掺杂氧化锌薄膜的制备方法。实现本发明技术方案的要点是：将Zn(CH3COO)2·2H2O溶于无水乙醇中，加入与Zn(CH3COO)2·2H2O等摩尔的二乙醇胺，在水浴条件下搅拌后，再按比例加入AgNO3和LiCl继续搅拌，得到Ag-Li共掺杂的氧化锌溶胶，用匀胶机将得到的Ag-Li共掺杂氧化锌溶胶在基片上进行旋转涂膜，然后加热烘干，进行热处理，得到Ag-Li共掺杂氧化锌薄膜。本发明制备的Ag-Li共掺杂ZnO薄膜不仅结晶性好、表面形貌好，而且透射比较高、导电性较好。

主权项

一种Ag‑Li共掺杂氧化锌薄膜的制备方法，其特征在于按照以下步骤进行：（1）称取4.30‑4.39gZn(CH3COO)2·2H2O，溶于25mL无水乙醇中，加入与Zn(CH3COO)2·2H2O等摩尔的二乙醇胺，在50‑70 ℃的水浴条件下搅拌1‑2 h后，加入摩尔比为1：（1‑20）的AgNO3和LiCl继续搅拌1‑2 h，得到Ag‑Li共掺杂的氧化锌溶胶，将其在空气中静置陈化24‑48h；（2）选用Si、ITO和玻璃作为基片，将基片依次在丙酮、无水乙醇和去离子水中超声波清洗10 ‑15min，再用无水乙醇冲洗，之后在加热平台上烘干；（3）用匀胶机将静置陈化后得到的Ag‑Li共掺杂氧化锌溶胶在基片上进行旋转涂膜，先在800‑1200r/min的转速下向基片滴加溶胶5‑10s，然后在3000 ‑4000r/min的转速下旋转30 s，将形成的湿膜置于加热平台上于120 ℃温度下加热烘干，重复上述涂膜过程两次；（4）最后以5 ℃/min的升温速率，在550 ℃条件下在空气中对薄膜热处理1‑2 h，得到Ag‑Li共掺杂氧化锌薄膜。