[发明专利]一种磁悬浮晶圆旋转系统

摘要

本发明属于半导体设备领域，具体地说是一种利用磁流体的磁悬浮晶圆旋转系统，包括可升降的上盖支撑架、上盖、磁流体轴承、下腔体及安装在工作台上的驱动电机，驱动电机的输出端连接有下腔体，下腔体通过驱动电机旋转，在下腔体内设有真空吸盘，真空吸盘上吸附有晶圆，晶圆与真空吸盘随下腔体旋转；上盖支撑架的一端与驱动装置相连，另一端通过磁流体轴承连接有位于下腔体上方的上盖，上盖随上盖支撑架升降，上盖的下限位与下腔体密封连接、形成密封腔体，通过摩擦力随下腔体同步旋转。本发明上盖的重量固定在运转轨道上，使上盖没有作用力于下腔体；并且上盖与下腔体同步旋转，避免了产生晶圆与旋转系统相对旋转运动的问题。

主权项

一种磁悬浮晶圆旋转系统，其特征在于：包括可升降的上盖支撑架(1)、上盖(2)、磁流体轴承(6)、下腔体(9)及安装在工作台上的驱动电机(10)，其中驱动电机(10)的输出端连接有下腔体(9)，该下腔体(9)通过驱动电机旋转，在下腔体(9)内设有真空吸盘(4)，真空吸盘(4)上吸附有晶圆(3)，所述晶圆(3)与真空吸盘(4)随下腔体(9)旋转；所述上盖支撑架(1)的一端与驱动装置相连，另一端通过磁流体轴承(6)连接有位于下腔体(9)上方的上盖(2)，该上盖(2)随上盖支撑架(1)升降，所述上盖(2)的下限位与下腔体(9)密封连接、形成密封腔体，通过摩擦力随下腔体(9)同步旋转。