[发明专利]用于进行等离子体化学气相沉积的炉子有效
| 申请号： | 201110333670.1 | 申请日： | 2004-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN102383108A | 公开（公告）日： | 2012-03-21 |
| 发明（设计）人： | M·J·N·斯特拉伦范;R·H·M·德克斯 | 申请（专利权）人： | 德拉卡纤维技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/44 | 分类号： | C23C16/44;C03C17/22 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 傅永霄 |
| 地址： | 荷兰艾*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于进行等离子体化学气相沉积的炉子，该炉子具有金属壳以防止高频能量向环境泄漏。本发明还提供了一种用于进行等离子体化学气相沉积的方法，在所述等离子体化学气相沉积过程中，使用炉子使玻璃基体维持在800-1300℃的温度，其中通过波导管向涂覆器传送高频能量，由于在所述炉子中存在狭缝，该波导管在所述的炉子内能来回移动，其中所述狭缝由板覆盖，所述板具有金属壳以防止高频能量通过所述炉子中的所述狭缝泄漏。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 进行 等离子体 化学 沉积 炉子 | ||
【主权项】：
一种用于进行等离子体化学气相沉积的炉子，其特征在于：该炉子具有金属壳以防止高频能量向环境泄漏。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
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