[发明专利]一种溅射靶材用钼铌合金板的制备方法有效
| 申请号： | 201110334975.4 | 申请日： | 2011-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN102337418A | 公开（公告）日： | 2012-02-01 |
| 发明（设计）人： | 淡新国;侯军涛;李明强;郭让民;郭磊;邓自南 | 申请（专利权）人： | 西安瑞福莱钨钼有限公司 |
| 主分类号： | C22C1/04 | 分类号： | C22C1/04;C22C27/04;C23C14/34;C23C14/14 |
| 代理公司： | 西安创知专利事务所 61213 | 代理人： | 谭文琰 |
| 地址： | 710201 陕西省西安市*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种溅射靶材用钼铌合金板的制备方法，该方法为：一、将铌粉和费氏平均粒度为3μm～8μm的钼粉按照1∶9的质量比置于混料机中混合得到混合料；二、对混合料进行振动压制，得到钼铌合金粉末压坯；三、将钼铌合金粉末压坯置于真空烧结炉内烧结，制得钼铌合金板坯；四、对钼铌合金板坯进行机械切割，得到所需尺寸的溅射靶材用钼铌合金板。本发明的方法工艺流程简单，易于实现工业化生产，成品率高，制备过程不会产生任何废料、废酸等污染物。采用本发明的方法制备的钼铌合金板的密度不低于9.85g/cm3，满足溅射靶材的要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 溅射 靶材用钼铌 合金 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种溅射靶材用钼铌合金板的制备方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：步骤一、将铌粉和费氏平均粒度为3μm～8μm的钼粉按照1∶9的质量比置于混料机中，在转速为40rpm～60rpm的条件下混合2h～4h，得到混合料；步骤二、对步骤一中所述混合料进行振动压制，得到钼铌合金粉末压坯；所述振动压制过程中的振动频率为2000Hz～6000Hz，压制力为10MPa～30MPa，保压时间为30s～60s；步骤三、将步骤二中所述钼铌合金粉末压坯置于真空烧结炉内烧结，待炉内温度升至1900℃～2100℃后保温6h～10h，制得钼铌合金板坯；步骤四、对步骤三中所述钼铌合金板坯进行机械切割，得到所需尺寸的溅射靶材用钼铌合金板。
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