[发明专利]钛及钛合金手术器械表面涂覆TiAlN的方法

摘要

钛及钛合金表面涂覆TiAlN的制备方法，它涉及一种钛及钛合金表面涂覆TiAlN的制备工艺。本发明按照下述步骤进行：a.准备好钛合金试样材料，然后进行试样镀层制备前的检查，经过在三氯乙烯中超声波清洗、汽油清洗(两次)、水洗、酸洗、乙醇清洗，最后烘干；b.采用8弧源多弧离子镀膜机制备TiAlN镀层，将烘干后的试样装炉，进行离子轰击清洗，之后制备TiAlN镀层，然后真空冷却，出炉；c.TiAlN镀层的制备工艺参数为：靶电流60-70A，基体负偏压为-100～-400V，N2分压0.32Pa，沉积温度500℃和600℃，总沉积时间为120min，镀层厚度约为3μm真空炉冷到80℃，试样出炉；d.涂层表面EDS分析；e.镀膜完成后，经水洗、擦拭烘干、组装、包装。本发明得到的TiAlN化学稳定性好、抗氧化磨损能力强、强度高、耐磨性好。

主权项

一种钛及钛合金手术器械表面涂覆TiAlN的制备方法，其特征在于钛及钛合金手术器械表面涂覆TiAlN的制备方法如下：一、准备好钛合金试样材料，然后进行试样镀层制备前的检查，经过在三氯乙烯中超声波清洗、汽油清洗(两次)、水洗、酸洗、乙醇清洗，最后烘干；二、采用8弧源多弧离子镀膜机制备TiAlN镀层，将烘干后的试样装炉，进行离子轰击清洗，之后制备TiAlN镀层，然后真空冷却，出炉；三、TiAlN镀层的制备工艺参数为：靶电流60‑70 A，基体负偏压为‑100～‑400 V，N2分压0.32Pa，沉积温度500℃和600℃，总沉积时间为120 min，镀层厚度约为3μm真空炉冷到80℃，试样出炉；四、涂层表面EDS分析；五、镀膜完成后，经水洗、擦拭烘干、组装、包装。