[发明专利]放电灯、连接用线缆、光源装置及曝光装置有效
| 申请号： | 201110339001.5 | 申请日： | 2008-04-03 |
| 公开（公告）号： | CN102522316A | 公开（公告）日： | 2012-06-27 |
| 发明（设计）人： | 菊池孝幸;北野博 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | H01J61/52 | 分类号： | H01J61/52;H01J5/62;H01J5/54;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 李洋;杨林森 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种对放电灯的灯头构件的冷却作用大的光源装置。将电源(32)及送风装置(34)侧的连接器(41)与放电灯(1)的灯头侧连接器(52)利用在电力线缆(33A)内收纳送风用配管(35A)的连结线缆(57)连结。将来自电源(32)的电力经由连结线缆(57)的电力线缆(33A)、灯头侧连接器(52)以及流路折曲构件(51)向灯头部(28)供应，将来自送风装置(28)的冷风经由连结线缆(57)的送风用配管(35A)、灯头侧连接器(52)及流路折曲构件(51)内的送风路向灯头部(28)的槽部(28b)供应。 | ||
| 搜索关键词： | 电灯 连接 线缆 光源 装置 曝光 | ||
【主权项】：
一种放电灯，其在玻璃构件的内部收纳有用于放电的电极，其特征在于，所述放电灯具备：连结于所述玻璃构件的灯头构件；具有覆盖所述灯头构件的外罩部并由导电性材料形成的中继构件；具有与所述中继构件电连接的导电性构件的连结构件，所述中继构件和所述连结构件具备用于向所述灯头构件和所述外罩部之间供应冷却介质的流路。
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