[发明专利]四氯化硅转化三氯氢硅的方法无效
| 申请号： | 201110339143.1 | 申请日： | 2011-11-01 |
| 公开（公告）号： | CN102502656A | 公开（公告）日： | 2012-06-20 |
| 发明（设计）人： | 赵新征 | 申请（专利权）人： | 赵新征 |
| 主分类号： | C01B33/107 | 分类号： | C01B33/107 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 611130 四川省成都市温*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种四氯化硅转化三氯氢硅的方法，气态四氯化硅和氢气混合后反应产生三氯氢硅，气态四氯化硅和氢气混合后在炉管内部被加热并进行反应；本发明采用炉管内反应生成三氯氢硅的方式，利于气态四氯化硅和氢气充分混合，受热均匀，降低反应所需的能耗；与现有技术相比，可以避免消耗电能，能够实现热量高效回收利用，同时可以将目前技术所实现的四氯化硅处理量成倍增加，解决多晶硅工厂四氯化硅转化的瓶颈问题，实现工业化大规模低能耗连续稳定生产。 | ||
| 搜索关键词： | 氯化 转化 三氯氢硅 方法 | ||
【主权项】：
一种四氯化硅转化三氯氢硅的方法，气态四氯化硅和氢气混合后反应产生三氯氢硅，其特征在于：气态四氯化硅和氢气混合后在炉管内部被加热并进行反应。
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