[发明专利]成膜装置无效
| 申请号： | 201110339499.5 | 申请日： | 2011-11-01 |
| 公开（公告）号： | CN102465262A | 公开（公告）日： | 2012-05-23 |
| 发明（设计）人： | 中川善之;中野真吾;福田直人 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/54;G01G17/02;H05B33/10;H05B33/14 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 钱亚卓 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供一种可在成膜对象物上精确地形成均一膜的成膜装置。成膜装置(1)包括成膜源(21)、测量用石英振荡器(22)和校正用石英振荡器(23)。当在成膜对象物(30)上形成成膜材料的薄膜时，在成膜源(21)内加热成膜材料以释放出该成膜材料的蒸气。测量用石英振荡器(22)测量形成在成膜对象物(30)上的成膜材料量(形成在其上的薄膜厚度)，而校正用石英振荡器(23)校正测量用石英振荡器(22)。成膜装置(1)中，还提供用于相对于成膜对象物在预定成膜待机位置与预定成膜位置之间移动成膜源(21)的移动部(成膜源单元(20))，以及用于控制测量用石英振荡器(22)和校正用石英振荡器(23)的温度至基本相同的温度控制部(传感器闸门(26))。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 | ||
【主权项】：
一种成膜装置，包括：蒸发源，用于加热成膜材料以及用于释放出所述成膜材料的蒸气；移动部，用于使所述蒸发源相对于成膜对象物在预定成膜待机位置与预定成膜位置之间移动；测量用石英振荡器，用于测量形成在所述成膜对象物上的所述成膜材料的量；以及校正用石英振荡器，用于校正利用所述测量用石英振荡器测得的所述成膜材料的量，其中，所述测量用石英振荡器和所述校正用石英振荡器固定在所述蒸发源的所述预定成膜待机位置的上方。
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