[发明专利]质量流量控制器和流量控制方法

摘要

本发明提供质量流量控制器和流量控制方法，能使质量流量控制器的流量控制阀使用的时间更长，并且在使流量设定值减少的情况下可以更正确地控制实际流量。质量流量控制器包括：流量传感器部(2)；流量控制阀(3)；计算部(6)，对流量测量值和流量设定值的偏差至少进行比例计算，从而计算出对流量控制阀(3)的反馈控制值；以及开度控制信号输出部(7)，根据反馈控制值生成开度控制信号，并向流量控制阀(3)输出。在作为从使流量设定值减少了规定量以上的时刻起的规定期间的减少变化期间中，使用利用减少前的流量设定值和减少后的流量设定值的变化部分得到的计算值越小计算出的值越大的函数，计算在所述比例计算中的偏差上乘上的增益值。

主权项

一种质量流量控制器，包括：流量传感器部，测量在流路内流动的流体的流量，并输出表示测量出的测量值的流量测量信号；流量控制阀，设置在所述流量传感器部的上游一侧或下游一侧；计算部，对所述流量测量信号表示的流量测量值和作为目标值的流量设定值的偏差至少进行比例计算，从而计算出对所述流量控制阀的反馈控制值；以及开度控制信号输出部，根据所述反馈控制值生成开度控制信号，并将该开度控制信号向所述流量控制阀输出，所述质量流量控制器的特征在于，使用把所述流量设定值代入规定函数得到的值作为在所述比例计算中的所述偏差上乘上的增益值，并且在减少变化期间，把使用减少前的流量设定值和减少后的流量设定值的变化部分得到的计算值代入用于所述减少变化期间的所述规定函数，所述计算值越小，用于所述减少变化期间的所述规定函数计算出的值越大，所述减少变化期间是从使所述流量设定值减少了规定量以上的时刻起的规定期间。