[发明专利]用于光刻机透镜热效应测量的测试标记及其测量方法有效
| 申请号： | 201110340789.1 | 申请日： | 2011-11-02 |
| 公开（公告）号： | CN103091993A | 公开（公告）日： | 2013-05-08 |
| 发明（设计）人： | 宋平;赵健;冯盛;马明英 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G01M11/02 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人： | 王光辉 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种测试标记，所述测试标记为正方形，中心为透光方孔，由中心向外依次为具有一定宽度的方框；从所述透光方孔至最外侧方框，透光区和非透光区交替；从最外侧透光方框至所述透光方孔，所述透光区面积逐渐增大。一种使用所述测试标记的光刻机透镜热效应测量方法，所述测试标记位于掩模上，所述测试标记通过光束照射经由投影物镜在工件台上形成测试标记像，光强传感器用于探测所述测试标记像处的光强，包括以下步骤：对所述光强与所述投影物镜焦面漂移的关系进行预标定；进行热效应测量；确定所述热效应测量中的各时刻焦面漂移数据，拟合计算出透镜热效应双指数模型的参数。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 光刻 透镜 热效应 测量 测试 标记 及其 测量方法 | ||
【主权项】：
一种测试标记，其特征在于，所述测试标记为正方形；所述测试标记中心为透光方孔，由中心向外依次为具有一定宽度的方框；从所述透光方孔至最外侧方框，透光区和非透光区交替；从最外侧透光方框至所述透光方孔，所述透光区面积逐渐增大。
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