[发明专利]基板检查系统

摘要

本发明提供基板检查系统，针对每个检查对象基板的部件及针对每个需要实施的检查项目选择检查的单元，基于选择结果在各检查机中生成检查信息。部件确定处理部根据处理对象基板的设计信息确定各部件位置及部件种类。检查项目识别部参照部件种类表对确定的部件识别需要的检查项目，检查单元选择部参照检查机能力表选择对各检查项目实施检查的检查单元。通过这些处理生成检查菜单信息，检查菜单信息指，针对每个部件，将表示对部件实施的检查项目和检查单元的信息与部件的部件种类及位置信息建立关联的信息。各检查机输入检查菜单信息，识别定义为由自身装置实施检查的部件，并根据该部件种类将检查程序与部件的位置信息建立关联，以生成检查信息。

主权项

一种基板检查系统，具有管理系统和多种检查机，所述多种检查机设在部件安装基板的安装作业线上，所述管理系统用于管理各检查机的动作，其特征在于，所述管理系统具有：部件种类信息存储单元，其保存部件种类信息，所述部件种类信息是指，针对每个部件种类归纳了应对各部件种类的部件实施的检查项目的信息，检查单元存储单元，其针对每个检查项目保存用作实施该检查项目的检查的检查单元的检查机或检查机的组合，部件确定单元，其针对每个部件确定安装在检查对象基板上的部件的位置以及部件种类，按部件执行处理单元，其针对每个由所述部件确定单元确定的部件，执行第一处理和第二处理，其中，所述第一处理是指，针对该部件的部件种类，利用保存在部件种类信息存储单元中的部件种类信息，来识别应对该部件实施的检查项目的处理，所述第二处理是指，针对所识别的检查项目，利用保存在检查单元存储单元中的信息，来选择用于对该检查项目实施检查的检查单元的处理，菜单生成单元，其基于所述部件确定单元及按部件执行处理单元的处理结果，生成检查菜单信息，所述检查菜单信息是指，针对安装在所述基板上的每个部件，将表示对该部件实施的检查项目和用作实施该检查的检查单元的检查机的信息，与该部件的部件种类以及位置信息建立了关联的信息；各检查机具有：检查菜单输入单元，其输入由所述管理系统生成的检查菜单信息，检查程序存储单元，其针对每个部件种类保存与自身装置能够实施的检查项目相关的检查程序，检查对象识别单元，其通过分析由所述检查菜单输入单元输入的检查菜单信息，来识别在自身装置的检查对象部件，并从检查菜单信息中提取检查对象部件的位置、部件种类以及对该部件实施的检查项目，检查信息生成单元，其利用所述检查对象识别单元所提取的信息，来针 对每个检查对象部件执行第三处理和第四处理，由此生成对检查对象基板的检查所需要的检查信息，所述第三处理是指，针对对该部件实施的检查项目，从检查程序存储单元读取与该部件的部件种类适合的检查程序的处理，所述第四处理是指，将所读取的检查程序与该部件的位置信息建立关联的处理，检查执行单元，其利用由所述检查信息生成单元生成的检查信息来执行检查。