[发明专利]热处理设备及过温保护监控方法无效
申请号: | 201110343168.9 | 申请日: | 2011-10-25 |
公开(公告)号: | CN103077999A | 公开(公告)日: | 2013-05-01 |
发明(设计)人: | 赖建仲;张腾元;杨新兴 | 申请(专利权)人: | 茂迪股份有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;G01K1/02 |
代理公司: | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人: | 郭鸿禧 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本发明揭露一种热处理设备及过温保护监控方法。热处理设备包含进气单元、加热单元、烘烤单元、热交换单元、温度测量单元以及排气单元。其中,本发明是透过温度测量单元测量热交换单元与烘烤单元之间的温度来确定排气单元的管路是否被杂质堵塞。另外,本发明的过温保护监控方法具有两段警报信号输出,一段是提醒操作人员排气单元的排气效率已经较低,另一段是使热处理设备停止运作。 | ||
搜索关键词: | 热处理 设备 保护 监控 方法 | ||
【主权项】:
一种热处理设备,其特征在于,该热处理设备包含:进气单元,用以导入气流;加热单元,该加热单元与该进气单元导通,用以加热该气流;烘烤单元,该烘烤单元与该加热单元导通,藉以使该气流烘烤待烘烤物;热交换单元,该热交换单元与该烘烤单元导通,藉以使该气流进行热交换;温度测量单元,该温度测量单元设于该热交换单元与该烘烤单元之间,藉以测量该热交换单元与该烘烤单元之间的温度;以及排气单元,该排气单元与该热交换单元导通,藉以排出该气流。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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