[发明专利]光学角度测量装置有效
| 申请号： | 201110343186.7 | 申请日： | 2011-11-03 |
| 公开（公告）号： | CN102564353A | 公开（公告）日： | 2012-07-11 |
| 发明（设计）人： | W.霍尔茨阿普费尔 | 申请（专利权）人： | 约翰尼斯海登海恩博士股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/26 | 分类号： | G01B11/26;G01B11/00;G01D5/38 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 臧永杰;卢江 |
| 地址： | 德国特劳*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于检测至少一个扫描光栅和带有至少一个测量分度的分度盘之间的相对运动的光学角度测量装置。该扫描光栅构成为线性扫描光栅并且该分度盘作为测量分度包括第一和第二组合的径向圆光栅并且具有镜。在扫描光栅处的入射光束首先这样经历分裂成两个分光束。然后，分光束在第一组合的径向圆光栅方向上传播并且在那里受到衍射。衍射的分光束在镜方向上传播并且在那里在第二组合的径向圆光栅方向上受到反射。分光束接着在第二组合的径向圆光栅方向上传播并且在那里受到衍射。衍射的分光束在扫描光栅方向上传播，在此处引起分光束的重叠。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 角度 测量 装置 | ||
【主权项】：
用于检测至少一个扫描光栅(23.1、23.2；123；223；323)和带有至少一个测量分度的分度盘(10；110；210；310；410；510)之间的相对运动的光学角度测量装置，其中‑该扫描光栅(23.1、23.2；123；223；323)构成为线性扫描光栅，并且‑该分度盘(10；110；210；310；410；510)作为测量分度包括第一和第二组合的径向圆光栅(11.1、11.2；111.1、111.2；211.1、211.2；311.1、311.2)并且具有镜(12；112；212；312)，使得‑在扫描光栅(23.1、23.2；123；223； 323)处的入射光束首先经历分裂成两个分光束；‑分光束在第一组合的径向圆光栅(11.1；111.1；211.1；311.1)方向上传播并且在那里受到衍射；‑衍射的分光束在镜(12；112；212；312)方向上传播并且在那里在第二组合的径向圆光栅(11.2；111.2；211.2；311.2)方向上受到反射；‑分光束在第二组合的径向圆光栅(11.2；111.2；211.2；311.2)方向上传播并且在那里受到衍射；‑衍射的分光束在扫描光栅(23.1、23.2；123；223；323)方向上传播，在此处引起分光束的重叠。
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